热流仪（Thermal System）提升产品可靠性测试效率的技术路径

　　高低温气流温度冲击系统满足半导体、航天等多场景需求，冠亚恒温高低温气流温度冲击系统AES系列在原有配置的基础上还能接受定制，满足客户需求。

　　一、技术发展趋势

　　1. 温控性能突破

　　更宽温域：从传统-55℃~300℃扩展至-100℃~500℃，支持半导体（SiC、GaN）与超导材料测试。

　　更快温变速率：制冷技术推动温变速率适配3D封装芯片的瞬时热应力模拟。

　　纳米级控温精度：基于量子传感器与AI动态补偿算法，控温精度满足制程芯片的原子级热分析需求。

　　2. 多物理场耦合测试

　　复合环境模拟：集成振动、湿度、真空模块，满足车规级芯片与航天器件的多维度可靠性验证。

　　原位分析技术：结合拉曼光谱、X射线衍射，实时观测材料热变形与微观结构演变。

　　2. 模块化与微型化设计

　　芯片级测试设备：微型热流罩支持晶圆级在线测试，成本降低。

　　可扩展架构：通过更换模块适配不同温域与功能（如添加辐射加热或湿度控制）。

　　二、半导体行业应用案例

　　1、3D IC封装热应力测试

　　需求：验证TSV（硅通孔）与混合键合结构在-55℃~150℃循环下的可靠性。

　　方案：热流仪以80℃/min速率完成温度循环，同步监测电阻与形变数据。

　　2、车规芯片认证

　　需求：满足-40℃~150℃温度循环、湿热老化等严苛测试。

　　方案：多工位热流罩并行测试8个ECU，温变速率50℃/min，湿度精度±2%RH。

　　3、GaN功率器件热阻优化

　　需求：降低GaN HEMT器件的结到外壳热阻，提升散热效率。

　　方案：热流仪结合红外热成像，定位热点并优化封装结构。

　　4、Chiplet异构集成验证

　　需求：验证多芯片模块（MCM）在严苛温度下的信号完整性。

　　方案：热流仪在-65℃~125℃下同步施加高频信号，监测延时与误码率。

　　5、制程芯片（2nm）电迁移测试

　　需求：评估铜互连线在高温与高电流密度下的寿命。

　　方案：热流仪以±0.1℃精度控温，结合四探针法实时测量电阻漂移。

　　高低温气流温度冲击系统其技术突破与半导体行业的准确化、集成化需求深度耦合。冠亚恒温等企业正通过持续创新，为全球客户提供更准确的可靠性测试解决方案。